真空泵漏率和极限压力的关系

来源：上海民泉   发布日期：2012/10/22

    真空泵的漏率与极限压力有直接关系，在极限压力下运转的真空泵中，它的气体状态已接近分子流，气体的分子自由程较大，气体分子不易穿透转子与各相关零部件之间的间隙，也就是说此时间隙对极限压力的影响已极其微小，能影响极限压力的因素就只有漏率了。所谓真空泵达到了极限压力，就是渗漏进入真空泵的气体与真空泵抽出的气体达到了动态平衡，进入了相对稳定状态。 如2xz型旋片真空泵，当压力为0.06Pa时，其抽气量和漏气量达到动态平衡，所以2xz旋片式真空泵极限压力为0.06Pa。